Edwards EPX500NE Dry Vacuum Pump
英国EDWARDS爱德华干泵EPX500NE A41954012
英国EDWARDS爱德华干泵EPX500NE A41954014
英国EDWARDS爱德华干泵EPX500NE A41954414
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EDWARDS EPX500NE干泵功能和优势:
超清洁机械装置 – 传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑,这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承底油脂,并且不存在任何其他的潜在污染源。
非常可靠 – EPX 基于经过现场验证的 IPX 技术,具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10),大约每 5 年维修一次,最大程度地延长了泵的使用寿命。
可兼容的网络 - EPX 系列配有最终用户控制,可以连接到各种结构的网络,以进行诊断监视和控制。
紧凑的占地面积 – 作为可用的最小工具上泵之一,EPX 显著节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和安装成本,如果需要也可远程安装。
低运行成本 - EPX 仅需要 1.4 kW 的功率和整合空闲模式,从而可最大化功率效率。
独特的专利保护机械装置 – EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力,并可以在所有进气口压力下连续工作。
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